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  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Analysis".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="郭鴻飛"


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    Diffraction Analysis of Gaussian Beam Incident on The Surface Relief Grating Using The FDTD Method
    • 自動化及控制研究所 /101/ 碩士
    • 研究生: 李國華 指導教授: 郭鴻飛
    • As semiconductor especially IC industries continue to push to smaller device (smaller feature size)…
    • 點閱:896下載:8

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    基於適應性預測模型之光罩圖案設計
    • 自動化及控制研究所 /110/ 碩士
    • 研究生: 郭鎧瑜 指導教授: 郭鴻飛
    • 在記憶體DRAM製造的過程中,透過微影製程技術將設計之光罩轉印至光阻為一項至關重要的技術,但隨著線寬持續微縮,193nm浸潤式微影製程上達到物理極限,必須透過解析度增強技術(Resolution E…
    • 點閱:392下載:0
    • 全文公開日期 2024/09/16 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/16 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/16 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    同調傅立葉散射儀應用徑向基函數網路重建線寬
    • 自動化及控制研究所 /104/ 碩士
    • 研究生: Faisal 指導教授: 郭鴻飛
    • 本研究主要為將徑向基函數網路(radial basis function networks, RBFN)應用於同調傅立葉散射儀(coherent Fourier scatterometry, CFS…
    • 點閱:866下載:22
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